等離子體增強化學氣相沉積系統CVD/PECVD應用案例
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD/PECVD應用案例...
MORE INFO → 【化學氣相沉積系統】 2022-11-07
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD/PECVD應用案例...
MORE INFO → 【化學氣相沉積系統】 2022-11-07
多功能電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(CVD)是用來制備高純、高性能固體薄膜的主要技術,主要借助微波或射頻的方法將目標氣體進行電離,促進化學反應在較低的溫度下進行,從而在基片上沉積出所期望的薄膜。...
MORE INFO → 【化學氣相沉積系統】 2022-11-07